摘要 |
一种涂料废液回收装置,用以回收晶圆或玻璃涂料,该涂料废液回收装置系包含:至少一废料回收桶,该废料回收桶经由一进料阀门连接一废料收集管路,该废料回收桶另连接一出料阀门;一温度调整桶,连接该废料回收桶之出料阀门,该温度调整桶设有一温度调整机构及一状态侦测装置,该状态侦测装置包含一温度侦测器,该温度调整桶另连接一出料阀门;及一黏度调整桶,连接该温度调整桶之出料阀门,该黏度调整桶设有一溶剂储存槽,该溶剂储存槽系透过一抽液装置连接该黏度调整桶,该黏度调整桶还设有一状态侦测装置,该状态侦测装置包含一黏度侦测器,该黏度调整桶另经由一出料阀门以连接一涂料输出管路。 |