电浆制程视窗元件与电浆设备的制程观测装置

摘要

一种电浆制程视窗元件与电浆设备的制程观测装置。电浆设备的制程观测装置包括视窗元件与视窗玻璃。视窗元件包括第一基材部分、第二基材部分以及连接部分。第一基材部分具有第一通孔。第二基材部分具有第二通孔与第二通孔扩散空间。第二通孔扩散空间之截面积系大于第二通孔之截面积。连接部分系介于第一基材部分与第二基材部分之间。视窗元件系设置在电浆设备之反应腔体与视窗玻璃之间。第二通孔扩散空间系邻近视窗玻璃。第一通孔系邻近反应腔体。