带电粒子成像系统的侦测单元、检视试片系统及试片表面成像方法

摘要

本发明系有关于一种带电粒子束成像系统之侦测单元，特别是有关于一种带电粒子束成像系统中以一Wien分析器(Wien filter)(E x B带电粒子分析器)辅助具有多类型侦测子单元之带电粒子侦测单元。本发明提出一适用于低电流、高解析度模式及高电流、高输出模式的成像系统。而将本发明应用于扫描式电子检视系统仅是为了举例说明。本发明亦可应用于其他以带电粒子束做为观察工具的系统。