曝光条件之决定方法及曝光方法、曝光装置以及元件制造方法

摘要

在基板曝光前，在液体之各种条件下投影图案像，根据图案像之各投影状态，决定将图案像投影于基板上时之曝光条件。透过液体来投影图案像时，在按照液体状态之期望投影状态下能良好地将基板曝光。