发明名称 防止金属迁移的电子封装件
摘要 本发明提供一种防止金属迁移的电子封装件,包含至少一电子晶片、一基板、复数扩散阻绝层,及复数电连接块,该电子晶片具有复数金属垫,该基板具有一预定电路,且该等扩散阻绝层是形成于该预定电路上,并包括至少一Cu100-x-yRuxNy之组成物,以原子百分比计,0<x≦5,0<y≦5,该等金属垫与扩散阻绝层为彼此相对应,该等电连接块为分别电连接该彼此对应之金属垫及扩散阻绝层,将该电子晶片固接于该基板,另外,本发明亦同时提供一种防止金属迁移的基板及电子晶片。
申请公布号 TWI419280 申请公布日期 2013.12.11
申请号 TW098101557 申请日期 2009.01.16
申请人 国立台湾大学 台北市大安区罗斯福路4段1号 发明人 高振宏;朱瑾;庄鑫毅;林宗新
分类号 H01L23/488;H01L23/28 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 台北市大安区罗斯福路4段1号