| 摘要 |
一种实施电性量测之诊断工具，以校准电浆处理室探针。诊断工具包含RF产生器。诊断工具亦包含第一阻抗电路。第一阻抗电路是电压负载网路，当从RF产生器产生之RF功率被传输到第一阻抗电路时，第一阻抗电路从RF产生器传输用于电压量测之RF电压输出。诊断工具更包含第二阻抗电路。第二阻抗电路是电流负载网路，当从RF产生器产生之RF功率被传输到第二阻抗电路时，第二阻抗电路从RF产生器传输用于电流量测之RF电流输出。诊断工具更包含同轴切换网路装置，其系用以提供可切换的RF传输通路，以从RF产生器传输RF功率至第一阻抗电路及第二阻抗电路其中之一者。 |
