| 摘要 |
一种用以实施收集及分析来自组构来处理一组基板的工具群组之资料中的至少一种之配置。此配置包括复数个工具，此等复数个工具中的至少一工具具有用以处理此组基板中的至少一基板之室。此配置还包括复数个次要伺服器，系组构来收集来自此等工具的感测器资料。此配置更包括主要伺服器，系可与此等复数个次要伺服器传输耦接，且系组构来执行资料库管理系统。感测器资料在藉由资料库管理系统而传送至主要伺服器供使用之前，会使用此等次要伺服器上的复数个索引应用程式来予以索引。索引包括使感测器资料项目与储存感测器资料项目之伺服器的标识产生关联。 |
