双垂直通道电晶体及其制造方法

摘要

一种双垂直通道电晶体包含一音叉型基底；一埋入式位元线埋入一凹槽的底部，其中凹槽位于音叉型基底的两个尖叉部之间；一第一源/汲极区位于音叉型基底内并紧邻该埋入式位元线；一第二源/汲极区位于音叉型基底的尖叉部的顶部；一磊晶层连接音叉型基底的尖叉部，且磊晶层位于第一源/汲极区与第二源/汲极区之间；一前闸极位于音叉型基底的一第一侧面上；以及一后闸极位于音叉型基底相对于第一侧面的一第二侧面上。