| 摘要 |
[课题];本发明是在于提供一种即使在高温检查下探针卡热膨胀还是可常以适当的接触荷重来进行检查之检查装置。;本发明的检查装置(10)是具备：温度调节可能的载置台(11)、昇降驱动机构(12)、探针卡(13)及控制装置(14)。昇降驱动机构(12)是具备：使载置台(11)昇降，经由耦合构件(125A、125B)来连结的第1、第2驱动轴(123A、123B)、及使该等的驱动轴(123A、123B)驱动的步进马达(124)、及在第1、第2驱动轴(123A、123B)间检测出根据复数的探针(13A)与装置间的接触荷重的转力矩之转力矩检出手段(128)。控制装置(14)是具有转力矩控制部(143)，其系根据探针卡(13)随温度变化而膨胀时之来自转力矩检出手段(128)的转力矩信号来控制成基准转力矩。 |
