影像感测器、微影曝光装置、影像侦测方法、电脑程式产品及图案化设备

摘要

本发明系关于一种影像，其在一用于曝光一基板之微影曝光装置中用于侦测一辐射光束之一横截面中包含辐射强度空间差异的一空中图案。影像感测器包含一经配置以形成该空中图案之一侦测影像的透镜及一经配置以量测该侦测影像中之复数个位置中之辐射强度的影像侦测器。