在半导体检查装置用接触探针栓销之基材上制造含钨类钻碳覆膜之方法

摘要

一种制造方法，该方法系在半导体检查装置用接触探针栓销之基材上制造含钨类钻碳覆膜之方法，其特征为：上述含钨类钻碳覆膜系使用钨碳化物靶材，而在碳氢化合物气体和氩气之混合气体中进行溅镀，依此被形成在基材上。