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发明名称
半导体结构及其制造方法
摘要
本发明之一实施例,提供一种半导体结构,包括:一第一基板;一第二基板,与该第一基板相对设置;复数个间隙壁,设置于该第一基板与该第二基板之间;以及一黏着材料,黏接该第一基板与该第二基板,位于相邻间隙壁之间。本发明亦提供一种半导体结构之制造方法。
申请公布号
TWI419214
申请公布日期
2013.12.11
申请号
TW100106366
申请日期
2011.02.25
申请人
奇景光电股份有限公司 台南市新市区紫楝路26号
发明人
张聪杰;柯庆鸿;刘睦驾
分类号
H01L21/30
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址
台南市新市区紫楝路26号
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