对位装置与对位方法

摘要

一种对位装置，包括一对位模组与一连动模组。对位模组系承载一基板与一光罩，且该基板位置为可调整。连动模组包括一取像装置与一连动件，其中取像装置系对基板与光罩取像，并计算基板与光罩之一偏差量，而连动件连接于对位模组与取像装置，使取像装置与基板维持一轴向同动。