表面处理方法

摘要

本发明系提供一种不使用高危险性的硝酸等之情形中去除附着于构成真空容器等真空处理装置之零件表面之药液与金属等附着物。;本发明为以构成真空处理装置之金属制零件作为被处理物之表面处理方法，其为将前述被处理物之表面经电解研磨、部分电解研磨、化学研磨、酸洗或电解酸洗后，使用在0.5重量%以上未达3重量%之稀硷性溶液中，以制得浓度为0.5重量%以上未达10重量%添加羧酸或羧酸盐之硷性类螯合液，洗净前述被处理物之表面。