导电图案检查装置

摘要

本发明非关于一种与导电图案之配置态样，而是提供一种可简易地监别断线位置之导电图案检查装置。该导电图案检查装置具有：施加单元，其系从发生断线之导电图案110的一端施加交流电压；感测器，其系在基板上经由间隙而相对，并在横跨该复数个导电图案110之方向移动；两个以上之线状电极，其系设于该感测器中，以彼此不同之方向延伸并且彼此电性绝缘；及控制部，其系依据两个以上之线状电极分别检测的电压信号之变动时序，来监别该断线位置。