发明名称 |
整合式粗抽/排气/通气(RPV)阀 |
摘要 |
一种单一导管阀组件提供了具有一冲洗阀埠口的一整合式低温泵阀,该冲洗阀埠口系藉由一具有一内导管与一外导管的同轴连接部而将该组件连接至一低温泵。一加压气体介面系经由该内导管而将一加压气体源连接到低温泵。一粗抽阀埠口可以将组件的外导管连接至一粗抽真空泵;且一释放阀埠口可以将组件的外导管连接到一排出管叠。 |
申请公布号 |
TWI418706 |
申请公布日期 |
2013.12.11 |
申请号 |
TW094107815 |
申请日期 |
2005.03.15 |
申请人 |
布鲁克机械公司 美国 |
发明人 |
亚伦J 巴特雷特;盖利S 阿须;布莱恩 汤普森;马克A 史提拉 |
分类号 |
F04B37/08;F16K51/02 |
主分类号 |
F04B37/08 |
代理机构 |
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代理人 |
阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |