管理基材退火的热预算

摘要

本发明提供一种用于处理一基材之方法及设备。将该基材定位于一热处理腔室中之一支撑件上。将电磁辐射导向该基材以退火该基材之一部分。将其他电磁辐射导向该基材以预热该基材之一部分。该预热降低该预热区域与该退火区域之间的边界处之热应力。按特定实施例之需要，预期任何数量之退火区域及预热区域，其具有变化之形状及温度分布。可使用诸如雷射、热灯、白光灯或闪光灯之任何适当之电磁辐射源。