摘要 |
本发明系提供具备蚀刻所致残渣等几乎不会发生之透明导电膜之薄膜电晶体型基板,及其制造方法,及使用其薄膜电晶体型基板之液晶显示装置。;透明基板,与设置于该透明基板上之源电极,与设置于该透明基板上之汲电极,与设置于该透明基板上之透明像素电极,所成之薄膜电晶体型基板中,该透明像素电极,含有氧化铟作为主成分,进而,将含有选自氧化钨,氧化钼,氧化镍,及氧化铌之一种或二种以上之氧化物,之透明导电膜,该透明像素电极系与该源电极或该汲电极电性连接之薄膜电晶体型基板,及其制造方法,及使用该薄膜电晶体型基板之液晶显示装置。 |