多基板之高精度的同步贴板之视觉定位装置及其方法

摘要

一种多基板之高精度的同步贴板之视觉定位方法，包括以下步骤：提供一用以存放基板的暂存区；提供一定位区，利用一移动平台将该些基板由该暂存区移动至该定位区；利用一视觉装置撷取该些基板的影像，并分析该些基板的偏移值；利用一搬移定位装置依据每一基板之偏移值进行补正后依序吸取位于该定位区上的该些基板，以补正正每一基板之偏移值；以及利用该搬移定位装置将上述经过定位之该些基板高精度地且同步地放置于该载板上，使固定于该载板上的两两基板之间具有高精度的相对位置。