| 摘要 |
本发明主要利用深冷低温的液氮将被灌充的储筒内容物冷却至所需的饱和压力，如此源头高压的饱和液体与储筒间即有压差，可供源源不断地将液体灌充至储筒内。本发明主要是利用深冷低温蒸馏，因为在深冷低温时，气体杂质的浓度较高温时大许多，也就是气液两相杂质的浓度比值在愈低温时愈高，在做排放蒸馏时，可以大量节省成本或全部回收，因此在概念上本发明提供一种绝热排放蒸馏装置，包含有两个储筒，第一个储筒的作用是接收来自相对高压的液体，而第二个储筒的作用是回收第一储筒排放的气体。在排放回收过程中，第二储筒亦降温至低于第一储筒温度的深冷低温，有助于自回收之气体中将杂质气体进一步的分离。本发明透过深冷低温的绝热排放，可快速而大量的纯化目标物(例如N2O、CO2、SF6等等)。 |
