发明名称 玻璃蚀刻液回收分配装置
摘要 本发明揭示一种玻璃蚀刻液回收分配装置,使用过之大量玻璃蚀刻液要排放时,经由分配装置分别流入不同的分配槽,便于分量进行蚀刻液之过滤与回收。由蚀刻液进入口流入之蚀刻液,经由可转至不同角度之主管路,使蚀刻液出口能够对应到所要流入之分配槽的开口,多个分配槽得以收集使用过之璃蚀蚀刻液以进行过滤与回收。
申请公布号 TWI418657 申请公布日期 2013.12.11
申请号 TW100133413 申请日期 2011.09.16
申请人 弘塑科技股份有限公司 新竹市香山区中华路6段89号 发明人 陈文隆;颜锡鸿;陈毓正;罗翔隆
分类号 C23F1/46;H01L21/306 主分类号 C23F1/46
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 新竹市香山区中华路6段89号