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发明名称
玻璃蚀刻液回收分配装置
摘要
本发明揭示一种玻璃蚀刻液回收分配装置,使用过之大量玻璃蚀刻液要排放时,经由分配装置分别流入不同的分配槽,便于分量进行蚀刻液之过滤与回收。由蚀刻液进入口流入之蚀刻液,经由可转至不同角度之主管路,使蚀刻液出口能够对应到所要流入之分配槽的开口,多个分配槽得以收集使用过之璃蚀蚀刻液以进行过滤与回收。
申请公布号
TWI418657
申请公布日期
2013.12.11
申请号
TW100133413
申请日期
2011.09.16
申请人
弘塑科技股份有限公司 新竹市香山区中华路6段89号
发明人
陈文隆;颜锡鸿;陈毓正;罗翔隆
分类号
C23F1/46;H01L21/306
主分类号
C23F1/46
代理机构
代理人
庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址
新竹市香山区中华路6段89号
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