发明名称 定位系统、微影装置及方法
摘要 本发明揭示一种用以定位具有一本体之一可移动物件的定位系统,该定位系统包括一物件位置量测系统、一物件致动器及一物件控制器,其中该定位系统进一步包括一加硬器,该加硬器用以增加硬度及/或阻尼在该物件之该本体内之相对移动,该加硬器包括:一或多个感测器,其中每一感测器经配置以判定表示在该本体中之一内部应变或相对位移的一量测信号;一或多个致动器,其中每一致动器经配置以将一致动力施加于该本体之一部分上;及至少一控制器,其经组态以基于该等感测器中之至少一者之该量测信号而将一致动信号提供至该等致动器中之至少一者,以增加该硬度及/或阻尼在该本体内之移动。
申请公布号 TWI418923 申请公布日期 2013.12.11
申请号 TW099123550 申请日期 2010.07.16
申请人 ASML荷兰公司 荷兰 发明人 凡 伊克 珍;凡 德 帕斯 英吉尔伯图司 安东尼斯 弗兰西斯库斯;费尔莫默朗 约翰内斯 佩特鲁斯 马丁努斯 伯纳德斯
分类号 G03B27/52;G03F7/20 主分类号 G03B27/52
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰