发明名称 光电元件及其制造方法
摘要 一种光电元件,包含:一基板,具有一表面,并具有一与表面垂直之法线方向;复数个第一晶种柱,位于基板之表面上并与表面接触,并裸露出部分基板之表面;一第一保护层,位于第一晶种柱之侧壁及基板之裸露表面之上;一第一缓冲层,位于复数个第一晶种柱之上,其中第一缓冲层具有一第一表面及一与第一表面相对之第二表面,且第一表面与复数个第一晶种柱直接接触;及至少一第一孔洞结构,位于复数个第一晶种柱、基板之表面及第一缓冲层之第一表面之间,其中,至少一第一孔洞结构具有一宽度与一高度,其中宽度系为第一孔洞结构于平行表面方向之最大尺寸,高度系为第一孔洞结构于平行法线方向之最大尺寸,其中高度与宽度之比值介于1/5~3。
申请公布号 TWI419367 申请公布日期 2013.12.11
申请号 TW099142035 申请日期 2010.12.02
申请人 晶元光电股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行五路5号 发明人 郭得山;柯淙凯
分类号 H01L33/14 主分类号 H01L33/14
代理机构 代理人
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行五路5号