发明名称 半导体器件
摘要 本发明提供一种能够提高半导体器件的可靠性的技术。在本发明中,作为搭载半导体芯片的布线基板,不使用层积式基板而使用贯通基板(THWB)。由此,在本发明中,通过使用仅由芯层构成的贯通基板,不再需要考虑层积层和芯层的热膨胀系数的不同,而且,因为不存在层积层,所以也不需要考虑形成于层积层的细小过孔的电切断。其结果为,根据本发明,能够实现成本降低,同时还能够实现半导体器件的可靠性提高。
申请公布号 CN103443915A 申请公布日期 2013.12.11
申请号 CN201180069392.1 申请日期 2011.03.22
申请人 瑞萨电子株式会社 发明人 马场伸治;渡边正树;德永宗治;中川和之
分类号 H01L23/12(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L27/04(2006.01)I 主分类号 H01L23/12(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟
主权项 一种半导体器件,其特征在于,具有:(a)半导体芯片,在其表面配置有多个突起电极;(b)基板,其具有:配置有与所述多个突起电极对应的多个端子的第1表面;和与所述第1表面相反侧的第1背面,在所述第1表面上安装所述半导体芯片,所述多个突起电极和所述多个端子分别电连接;和(c)封固树脂,其填充于所述半导体芯片与所述基板之间,所述基板具有:(b1)多个第1端子,其是所述多个端子中配置于所述基板的第1区域的端子;和(b2)多个第1通孔,其配置于比所述第1区域靠内侧的第2区域,所述多个第1通孔分别从所述基板的所述第1表面贯通到所述第1背面,在所述第1表面,所述多个第1通孔的一部分与所述多个第1端子的一部分电连接,在所述多个第1通孔上没有配置俯视下重叠的所述多个突起电极。
地址 日本神奈川县