一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜及其制备方法，所述薄膜由铁磁性高各项异性L10有序结构的FePt合金薄膜和有B2有序结构的FeRh合金薄膜组成；具体为：利用磁控溅射技术在单晶MgO（001）基板上沉积FeRh合金薄膜，溅射，退火，利用磁控溅射技术继续在沉积有FeRh薄膜的单晶MgO（001）基板上沉积FePt合金薄膜，本发明具有制备简单、性能好等优点，适合应用于具有外延取向的FeRh/FePt合金薄膜的制备。

主权项

一种超高密度热辅助磁记录用FeRh/FePt双层薄膜，所述薄膜第一层为铁磁性高各项异性L10有序结构的FePt合金薄膜，第二层为具有B2有序结构的FeRh合金薄膜；两层薄膜之间通过交换耦合相互作用在一起，FeRh合金薄膜中Fe、Rh原子比为1：1，FeRh薄膜厚度为10nm~50nm；FePt合金薄膜中Fe、Pt原子比为1：1，FePt薄膜厚度为10nm~50nm。