| 发明名称 | 双模式控制熔化保温的多晶硅铸锭工艺 | ||
| 摘要 | 本发明属于多晶硅铸锭工艺，具体涉及一种双模式控制熔化保温的多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其特征在于熔化保温阶段中，先采用功率控制模式，通过增大加热器功率，使得石英坩埚内温度达到熔化温度，然后采用温度控制模式，控制熔化温度不变进行保温。本发明的优点在于：（1）控制模式转换的温度即为熔化温度，省去了预热再升温的步骤，另外一开始通过高功率加热，缩短了整个工艺的时间3～4h；（2）由于工艺时间的缩短，能够使得整个铸锭工艺的成本降低大约5%。 | ||
| 申请公布号 | CN103436957A | 申请公布日期 | 2013.12.11 |
| 申请号 | CN201310374136.4 | 申请日期 | 2013.08.23 |
| 申请人 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 发明人 | 李鹏廷;王峰;安广野;姜大川;熊华江;黄佳琪;谭毅 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B28/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种双模式控制熔化保温的多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其特征在于熔化保温阶段中，先采用功率控制模式，通过增大加热器功率，使得石英坩埚内温度达到熔化温度，然后采用温度控制模式，控制熔化温度不变进行保温。 | ||
| 地址 | 266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地 | ||