| 主权项 |
一种双层薄膜残余应力测试结构，该测试结构由圆盘（101）、投影游标尺（102）以及连接圆盘（101）和投影游标尺（102）的直梁（103）三部分组成，其特征在于：所述圆盘（101）包括圆柱（101‑1）、第一层薄膜材料（101‑2）和第二层薄膜材料（102‑3）这三个同心圆形结构，所述第一层和第二层材料薄膜（101‑2、101‑3）均呈圆形，第二层薄膜材料（101‑3）覆盖在第一层薄膜材料（101‑2）之上，第二层薄膜（101‑3）直径略小于第一层薄膜（101‑2），上述圆形薄膜（101‑2、101‑3）形成双层薄膜圆盘，支撑双层薄膜圆盘的圆柱（101‑1）的上端面和第一层薄膜材料（101‑2）连接，下端面固定在衬底材料（100）之上；所述投影游标尺（102）由左右两部分组成，其左半部分包括多个相同并顺时针旋转90度的“T”型结构，旋转后的“T”型结构由水平矩形（102‑1）和与其垂直的竖直矩形（102‑2）构成，各个“T”型结构的水平矩形（102‑1）与直梁（102‑3）垂直连接，“T” 型结构的竖直矩形（102‑2）的两条长边是对准用的基线，其中，右侧长边为A基线，左边长边为B基线，所有“T”型结构的尺寸完全相同，所有A基线在一条直线上，B基线在另一条直线上；所述投影游标尺（102）的右半部分由梳齿结构和位于齿上的“凸”型结构构成，梳齿结构由锚区（102‑4）和垂直连接到锚区（102‑4）的若干齿（102‑11）构成，在齿（102‑11）上与“T” 型结构相邻的一边设计有“凸”型结构（102‑5～102‑10），所述“凸”型结构的个数等于齿（102‑11）的个数减1后乘以2，所述“凸”型结构上与齿垂直的4条直线是另一组对准基线，其中，最左边的为C1对准基线，向右依次为C2、C3、C4对准基线，C1、C2基线间距以及C3、C4基线间距均等于[（“凸”型个数×2‑1）×△]，其中△为游标的最小分辨单位；所述双层薄膜残余应力测试结构的圆盘（101）和投影游标尺（102）通过一根直梁（103）连接，所述直梁（103）一端沿圆盘直径方向连接第一层薄膜圆盘（101‑2），另一端与投影游标尺（102）左半部分的直梁（102‑3）垂直连接；整个结构除固定在衬底上的圆柱（101‑1）和投影游标尺（102）右半部分的锚区（102‑4）外全部悬浮于衬底之上。 |
