一种集成电路互连线寄生电容的测量电路及其测量方法

摘要

本发明公开了一种集成电路互连线寄生电容的测量电路，包括信号发生单元，其输入端接收第一输入电压信号后生成两路控制信号；工作电源，其提供工作电压；晶体管控制单元，其与信号发生单元、工作电源以及待测电容结构的第一端连接，其根据两路控制信号将待测电容结构第一端的与工作电源连接或接地；信号控制单元，其输入端接收第二输入电压信号，输出端与待测电容结构的第二端连接，输出端输出第三控制信号调节待测电容结构第二端的电势；直流电流表，其设置在工作电源与晶体管控制单元之间，用于测量工作电源通向晶体管控制单元的平均电流，计算待测电容结构的寄生电容。本发明还公开了一种应用集成电路互连线寄生电容的测量电路的测量方法。

主权项

一种集成电路互连线寄生电容的测量电路，与待测电容结构(5)连接，其特征在于，包括：信号发生单元(1)，其输入端(10)接收第一输入电压信号后生成两路控制信号，其第一输出端输出(11)第一控制信号，第二输出端(12)输出第二控制信号；工作电源(4)，其提供工作电压；晶体管控制单元(2)，其与所述第一输出端(11)、所述第二输出端(12)、所述工作电源(4)以及所述待测电容结构(5)的第一端连接，其根据所述两路控制信号将所述待测电容结构(5)第一端的与所述工作电源(4)连接或接地，控制所述待测电容结构(5)进行充电或放电；信号控制单元(3)，其输入端(30)接收第二输入电压信号，输出端(31)与所述待测电容结构(5)的第二端连接，所述输出端(31)输出第三控制信号调节所述待测电容结构(5)第二端的电势；直流电表(6)，其设置在所述工作电源(4)与所述晶体管控制单元(2)之间，用于测量所述工作电源(4)通向所述晶体管控制单元(2)的平均电流，计算所述待测电容结构(5)的寄生电容。