发明名称 |
内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光窗的制备方法 |
摘要 |
一种内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光窗的制备方法,该方法包含以下几个步骤:①飞秒激光刻蚀,②热处理和③镀铜。该方法不但能够在平面红外光窗实现电磁屏蔽,还可以在曲面红外光窗上实现电磁屏蔽。本发明适用于遥测遥感、医疗诊断、保密通讯、航天航空等电磁屏蔽。 |
申请公布号 |
CN103442544A |
申请公布日期 |
2013.12.11 |
申请号 |
CN201310380357.2 |
申请日期 |
2013.08.28 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
张龙;居永凤;姜雄伟;范有余;袁新强 |
分类号 |
H05K9/00(2006.01)I;C03C17/06(2006.01)I |
主分类号 |
H05K9/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
一种内嵌式电磁屏蔽光窗的制备方法,特征在于该方法包括如下步骤:①飞秒激光刻蚀:利用飞秒激光在掺杂了银离子的红外玻璃表面扫描刻蚀,形成周期性网栅凹槽;该凹槽的线宽大于1μm,深度为1~10μm,周期小于电磁屏蔽的电磁波段的最小波长的二分之一;②热处理:对飞秒激光加工过的红外玻璃在300~600℃进行4~8小时热处理;③镀铜:将样品放入化学镀铜液中进行镀铜0.5~3小时。 |
地址 |
201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱 |