应用于晶圆/光罩载具的气阀结构及应用其的光罩传送盒

摘要

本实用新型涉及一种应用于晶圆/光罩载具的气阀结构及应用其的光罩传送盒，所述气阀结构由一下阀体及一上阀体相对盖合而成，且上、下阀体的周缘形成有相对的通孔，而上、下阀体内具有一贴抵于下阀体抵缘的浮动阀块，而浮动阀块底面具有一导气部。本实用新型使载具能在置于充气座上时，可利用自身重量让气阀的浮动阀块被推动，让气体可经由导气部、通孔进入载体内部，且在载具移离充气座时，气阀的浮动阀块可利用弹性件回复预力及载具内部气压而复位密合，有效延长载具内洁净气体流失的时间，增加载具移动作业的灵活性。

主权项

一种应用于晶圆／光罩载具的气阀结构，其特征在于，包含有： 一下阀体，其具有一抵缘及多个第一栅片，其中所述抵缘自所述下阀体内缘底端向内凸伸，所述第一栅片自所述下阀体周缘向上凸伸，且相邻的所述第一栅片间形成有贯穿内外的一通孔，所述通孔与一导气阀形成气体流动；一上阀体，其具有多个第二栅片，所述第二栅片自所述上阀体周缘向下凸伸且对应所述下阀体的第一栅片，且相邻的所述第二栅片间设有对应所述第一栅片的通孔；一浮动阀块，其容设于所述下阀体内且贴抵于所述抵缘上；一弹性件，其设置于所述浮动阀块与上阀体间，所述下阀体底面具有一对接槽，且所述对接槽的内底面具有一能与导气阀间形成气体流动间隙的导气部。