| 发明名称 | 抗反射涂层组合物及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及抗反射涂层组合物，包含交联剂和能够通过该交联剂交联的可交联的聚合物，其中该可交联的聚合物包含结构(1)表示的单元，其中A是稠合芳环，B具有结构(2)，以及C是结构(3)的羟基联苯，(2)和(3)，其中R<sub>1</sub>是C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>烷基且R<sub>2</sub>是C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>烷基。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。<img file="DDA0000386897310000011.GIF" wi="1272" he="456" /> | ||
| 申请公布号 | CN103443161A | 申请公布日期 | 2013.12.11 |
| 申请号 | CN201280015041.7 | 申请日期 | 2012.03.27 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | M·D·拉赫曼;D·麦肯齐;单槛会;J·赵;S·K·穆伦;C·阿尼亚安迪格乌 |
| 分类号 | C08G61/02(2006.01)I;C09D165/00(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F1/46(2006.01)I | 主分类号 | C08G61/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 孙悦 |
| 主权项 | 1.含有交联剂和交联的聚合物的抗反射涂层组合物，其中所述交联性聚合物包含结构(1)表示的单元<img file="FDA0000386897280000011.GIF" wi="382" he="207" />其中A为稠合芳族环，B具有结构(2)，和C是结构(3)的羟基联苯，<img file="FDA0000386897280000012.GIF" wi="984" he="464" />R<sub>1</sub>是C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>烷基，和R<sup>2</sup>是C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>烷基，优选其中R<sub>1</sub>是甲基且R<sub>2</sub>是甲基。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||