超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法

摘要

本发明涉及超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置以及操作方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅，需要经过多塔的分离才能将原料中的轻重杂质除去，并且耗费大量的能量。而采用热泵精馏间壁塔装置，在一个间壁塔内就可以实现多种轻重杂质的完全脱除，得到超纯的三氯氢硅，并且通过热泵达到降低能耗的目标。间壁塔内的隔板将塔分为进料段、塔顶段、塔底段以及侧线产品段，在合适的控制参数下，在侧线段的合适位置能得到超高纯度的三氯氢硅产品。本发明的优点在于集合了热泵精馏以及间壁塔的特点，在一塔内完成不同杂质的脱除，在得到超纯三氯氢硅产品的同时大幅度降低能耗，减少设备投资。

主权项

一种超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔的操作方法；其特征为，含有轻重杂质的三氯氢硅原料进入间壁塔的进料段，在进料段的精馏段和提馏段完成轻重组分的分离；含有轻组分杂质和三氯氢硅的流股进入到塔顶段、侧线产品段精馏段和提馏段进一步分离，最终在侧线采出得到超纯三氯氢硅；塔顶汽体流股和塔釜液体流股在冷凝再沸器中进行换热，流股部分汽化，进入到分离罐中，其中的汽体流股作为塔釜再沸汽进入到塔中，液体流股作为塔釜重组分杂质采出；汽体流股换热后部分液化，依次经过降压阀和换热器后全部液化，液体流股通过泵一部分作为塔顶回流液进入到塔中，另一部分作为塔顶轻组分杂质采出。