回收装置及应用其的成膜设备

摘要

一种回收装置及应用其的成膜设备，其中，该成膜设备包含：一成膜腔室；一材料源，位于该成膜腔室中；一可拆式基板，设置于该成膜腔室中；以及一致冷单元，用以控制该可拆式基板的温度，以使该可拆式基板的温度小于该材料源的温度。该回收装置包含：一可拆式基板；以及一致冷单元，用以控制该可拆式基板的温度。本发明可有效提高搜集有机材料的回收率，并方便进行有机材料回收再利用。

主权项

一种有机材料的回收装置，其特征在于，包含：一可拆式基板，用以捕捉有机材料以回收利用；以及一致冷单元，用以控制该可拆式基板的温度，该致冷单元包含一致冷芯片，该致冷芯片附着于该可拆式基板，该致冷芯片具有一第一表面与一第二表面，其中该第二表面背向该第一表面，该第一表面附着在该可拆式基板上，当该致冷芯片运作时，该第二表面的温度相对较高，而该第一表面的温度相对较低，以此有效降低该可拆式基板的温度。