一种磁控溅射夹具

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射夹具。本一种磁控溅射夹具，包括用于放置薄膜电池的中空框架，中空框架为前后两端贯通、上框架中间部分敞口的中空长方体框架；左、右两边上框架下均固定有弹簧Ⅰ，弹簧Ⅰ下连接薄铁片，薄铁片的前、后段分别开有U形豁口，U形豁口下均设有用于与U形豁口连接或断开的可左右往返运动的直角楔口，直角楔口设置在下框架的上表面，下框架左、右两端上均设有电磁感应线圈，电磁感应线圈与外电路连接，薄铁片下和电磁感应线圈上均附着耐高温薄橡胶片；下框架上设有多个气孔，下框架下方设有气浮平台。本实用新型可解决电池受光面绕镀和传送导轮印的问题，也可省略PVD前粘贴高温胶带的工序，从而提高电池外观的整洁性和良率。

主权项

一种磁控溅射夹具，包括用于放置薄膜电池的中空框架，其特征在于：所述中空框架为前后两端贯通、上框架（1）中间部分敞口的中空长方体框架；左、右两边上框架（1）下均固定有弹簧Ⅰ（2），弹簧Ⅰ（2）下连接薄铁片（3），薄铁片（3）的前、后段分别开有 U形豁口（7），U形豁口（7）下均设有用于与U形豁口（7）连接或断开的可左右往返运动的直角楔口（8），所述直角楔口（8）设置在下框架（6）的上表面，下框架（6）左、右两端上均设有电磁感应线圈（5），电磁感应线圈（5）与外电路连接，所述薄铁片（3）下和电磁感应线圈（5）上均附着耐高温薄橡胶片（4）。