多晶硅铸锭的制备方法

摘要

本发明提供了一种多晶硅铸锭的制备方法，包括以下步骤：将氮化硅水溶液喷涂在热坩埚内壁，再将氮化硅和硅粉的混合水溶液喷涂在热坩埚底部，再将上述步骤得到的热坩埚进行烘烤，得到装料坩埚，最后向所述装料坩埚中装入硅料，进行铸锭生产，得到多晶硅铸锭。本发明提供的制备方法通过对热坩埚底部喷涂氮化硅和硅粉的混合水溶液，使得坩埚底部形成一层氮化硅与硅粉的混合的涂层，在铸锭生产的长晶过程中涂层中的硅粉会作为晶核形成点，使得形成晶粒分布均匀，从而得到较好品质的多晶硅铸锭。

主权项

一种多晶硅铸锭的制备方法，包括以下步骤：A）将氮化硅水溶液喷涂在热坩埚内壁，再将氮化硅和硅粉的混合水溶液喷涂在热坩埚底部；B）将所述步骤A）得到的热坩埚进行烘烤，得到装料坩埚；C）向所述装料坩埚中装入硅料，进行铸锭生产，得到多晶硅铸锭。