折射放大光学位移传感器

摘要

折射放大光学位移传感器属于光学位移测量技术领域。在现有技术中，微力弹性元件与动平面镜由一根连杆连接，属于接触式测量，测量精度低。在本发明之折射放大光学位移传感器中有激光光源和PSD，折射放大三棱镜位于激光光源和PSD之间，激光光源光轴与折射放大三棱镜轴线空间垂直，激光光源发出的测量光入射折射放大三棱镜的入射角a大于等于70°、小于90°，PSD感光面与自折射放大三棱镜出射的测量光垂直。由于被测位移D被折射放大三棱镜放大若干倍，对PSD的分辨率的要求因此明显降低，具有普通分辨率即可。由于在测量过程中，本发明之折射放大光学位移传感器与被测微力弹性元件表面非接触，不会发生因机械连接而导致的测量精度的下降。

主权项

一种折射放大光学位移传感器，包括激光光源（1）和PSD（9），其特征在于，折射放大三棱镜（6）位于激光光源（1）和PSD（9）之间的反射光路上，激光光源（1）光轴与折射放大三棱镜（6）轴线空间垂直，激光光源（1）发出的测量光入射折射放大三棱镜（6）的入射角a大于等于70°、小于90°，PSD（9）感光面与自折射放大三棱镜（6）出射的测量光垂直。