发明名称 | 一种半导体致冷件夹具 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种半导体加工工具,具体地说涉及一种半导体致冷件夹具。一种半导体致冷件夹具,包括夹具本体,其特征在于:所述的夹具本体下部设有加热板,所述的加热板上部安装有夹具,所述的夹具两端设有连接柱,所述的连接柱下部固定在加热板上,上部安装在夹具板上。这样结构的一种半导体致冷件夹具具有使用方便、加工效率高,操作简单的优点。 | ||
申请公布号 | CN203339136U | 申请公布日期 | 2013.12.11 |
申请号 | CN201320443605.9 | 申请日期 | 2013.07.25 |
申请人 | 河南鸿昌电子有限公司 | 发明人 | 和俊莉;王丹;张文涛;陈磊;钱俊有;蔡水占;刘栓红 |
分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种半导体致冷件夹具,包括夹具本体,其特征在于:所述的夹具本体下部设有加热板,所述的加热板上部安装有夹具,所述的夹具两端设有连接柱,所述的连接柱下部固定在加热板上,上部安装在夹具板上。 | ||
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