一种制造ESD器件的方法、ESD器件和显示面板

摘要

本发明公开了一种制造ESD器件的方法、ESD器件和显示面板，能够较好地解决阵列基板上积聚的静电电荷对未形成的ESD器件的破坏，提高阵列基板的良品率。该方法包括在ESD器件的制造过程中，通过构图工艺在基板上形成薄膜晶体管，以及与所述薄膜晶体管栅极和源极连接的第一引线，且将所述第一引线断开为至少两段引线段；或与所述薄膜晶体管栅极和漏极连接的第二引线，且将所述第二引线断开为至少两段引线段；在形成第一引线或第二引线的基板上，沉积钝化层薄膜，通过构图工艺在所述钝化层薄膜上形成用于连接引线段的过孔；在形成过孔的基板上沉积透明导电膜层，所述透明导电膜层通过过孔将所述引线段之间导通。

主权项

一种制造防静电击穿ESD器件的方法，其特征在于，包括：在ESD器件的制造过程中，通过构图工艺在基板上形成薄膜晶体管，以及与所述薄膜晶体管栅极和源极连接的第一引线，且将所述第一引线断开为至少两段引线段；或与所述薄膜晶体管栅极和漏极连接的第二引线，且将所述第二引线断开为至少两段引线段；在形成第一引线或第二引线的基板上，沉积钝化层薄膜，通过构图工艺在所述钝化层薄膜上形成用于连接引线段的过孔；在形成过孔的基板上沉积透明导电膜层，所述透明导电膜层通过过孔将所述引线段之间导通。