一种纯化分离多晶硅尾气中氯硅烷的方法

摘要

本发明涉及多晶硅生产中尾气纯化技术，传统分离三氯氢硅中的杂质采用单一精馏方法提纯，需要庞大的设备和高的运行费用，本发明提供了一套将多晶硅还原反应与精馏、水解精馏和吸附技术结合的纯化工艺，首先将尾气冷却，冷凝出氯硅烷在精馏塔精馏，再进入水解精馏塔，冷凝出的部分氯硅烷进入吸附柱，净化后的氯硅烷进入氯硅烷分离塔，塔顶采出三氯氢硅产品，排出的四氯化硅再进入精馏塔提纯，塔釜采出四氯化硅产品，本发明具有设备简化，运行费用低，多晶硅生产成本可降低10%的有益效果。

主权项

一种纯化分离多晶硅尾气中氯硅烷的方法，氯硅烷包括三氯氢硅和四氯化硅，其特征为纯化工艺方案如下：将多晶硅生产中生产的还原反应尾气、氢化反应尾气、合成反应尾气中的氢气、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢，所述以上尾气通过冷媒介质进行冷却，尾气中冷凝下的氯硅烷进入下一工序；冷凝下的氯硅烷进入精馏塔，塔釜使用蒸汽进行加热气化，塔顶设置冷却器，塔顶排轻组分，塔釜排重组分，侧线采出氯硅烷，进入下一工序；侧线精馏塔采出的氯硅烷，进入水解精馏塔，在进料位置设置高纯湿氮气，将高纯湿氮气与四氯化硅混合进入水解精馏塔内，塔釜设置再沸器，蒸汽为加热源，塔釜排出重组分，塔顶通过气相不凝气排轻组分，塔顶冷凝氯硅烷一部分作为塔的回流，另一部分采出氯硅烷，塔顶气相不凝气通过塔顶回流缓冲罐排放至尾气系统；自水解精馏塔塔顶采出的氯硅烷液体进入氯硅烷吸附柱，吸附氯硅烷中的杂质，经氯硅烷吸附柱进行净化后的氯硅烷产品输出进入下一工序；自氯硅烷吸附柱出口输出的氯硅烷进入氯硅烷分离塔，塔底排出四氯化硅，塔顶采出三氯氢硅产品，去做原料生产多晶硅；塔底四氯化硅再次进入下一工序；自氯硅烷分离塔输出的四氯化硅进入精馏塔进行提纯，分离其中微量的三氯氢硅轻组分，塔釜采出四氯化硅产品。