用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统

摘要

本实用新型公开了用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，该气路系统包括管路接口、进气管路、一级分支管路、二级分支管路和均流管路，管路接口连接在进气管路的进气端，进气管路的出气端与一级分支管路位于中部的管段相连通，二级分支管路为两根管路，一级分支管路位于两端的两个出气端分别与两根二级分支管路位于中部的管段相连通，两根二级分支管路的出气端均与均流管路相连通，均流管路上均匀开设有多个均流气孔，均流气孔为螺丝孔，每一个螺丝孔内均安装一颗具有上下贯通的气道的中空螺丝。该气路系统能够控制气路内气体的流量和整体设备镀膜的均匀性，从而控制硅太阳能电池片的膜厚和折射率。

主权项

用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，该气路系统包括管路接口（1）、进气管路（2）、一级分支管路（4）、二级分支管路（6）和均流管路（7），所述管路接口（1）连接在进气管路（2）的进气端，所述的一级分支管路（4）为一根管路，进气管路（2）的出气端与一级分支管路（4）位于中部的管段相连通，所述的二级分支管路（6）为两根管路，两根二级分支管路（6）并排设置，一级分支管路（4）位于两端的两个出气端分别与两根二级分支管路（6）位于中部的管段相连通，两根二级分支管路（6）的出气端均与所述的均流管路（7）相连通，所述均流管路（7）上均匀开设有多个均流气孔，其特征在于：所述的均流气孔为螺丝孔（9），每一个螺丝孔（9）内均安装一颗具有上下贯通的气道的中空螺丝（10），气体从管路接口（1）进入，最后经中空螺丝（10）的气道后吹扫出来。