| 摘要 |
Конструкция кварцевой ампулы для диффузии легирующих примесей в кремний методом закрытой трубы с встроенным приспособлением для управления скоростью последиффузионного охлаждения кремниевых р-п-структур, состоящая из кварцевой колбы 3, в которую загружаются кремниевые пластины 1 и источник диффузии 2, кварцевой шлиф-пробки 4, служащей для герметизации ампулы со стороны загрузки ее кремниевыми пластинами 2 и источником диффузии 3, и кварцевого штенгеля 6, через который происходит вакуумирование ампулы с последующей отпайкой ампулы от вакуумной системы по штенгелю 6, отличающаяся тем, что, с целью управления и стабилизации скорости охлаждения кремниевых пластин 1 с р-п-структурами, находящихся в ампуле 3, шлиф-пробка 4 выполнена в виде открытой полости 13, что позволяет извлеченную из диффузионной печи 8 после высокотемпературного диффузионного отжига кварцевую ампулу принудительно охлаждать определенным объемом холодной воды, заливая ее в полость 13 с помощью специального устройства 14, находящегося над ампулой 3. |
