| 摘要 |
1. Высоковакуумный гибридный насос, состоящий из корпуса, ротора и электрического двигателя на подшипниках, приводящего в движение ротор насоса, имеющий роторные лопатки и расположенные между ними, статорные лопатки, образующие турбомолекулярную ступень, отличающийся тем, что внутренняя часть ротора насоса выполнена в виде стаканообразной цилиндрической полости, на внутренней стороне которой нарезана четырехзаходная прямоугольная резьба, с переменным сечением канавок.2. Высоковакуумный гибридный насос по п.1, отличающийся тем, что в откачной зоне насоса, между турбомолекулярной ступенью и вязкостной ступенью выполнен порт -отвод для промежуточный откачки газа.3. Высоковакуумный гибридный насос по п.1, отличающийся тем, что шарикодшипниковый узел выполнен в виде обоймы и запрессован в корпус опоры с резиновыми температурными компенсаторами - демпферами.4. Высоковакуумный гибридный насос по п.1, отличающийся тем, что ротор выполнен из набора роторных дисков 3-х видов с углами наклона к плоскости диска, составляющими на первом и втором дисках - 35°, на третьем, четвертом, пятом и шестом - 20°, а на шестом, седьмом, восьмом, девятом и десятом - 10° и статор, состоящий из десяти дисков, при этом два диска имеют длину лопаток 20 мм, а угол наклона к плоскости диска составляет 35°, остальные восемь дисков имеют длину лопаток 10 мм, а угол наклона лопатки составляет 15°.5. Высоковакуумный гибридный насос по п.1, отличающийся тем, что статорная, неподвижная часть насоса отделена от ротора насоса антифрикционной втулкой; изготовленной из графитофторопластового материала. |
