Adaptive and automatic determination of system parameters,申请号US201113006571-传众专利搜索

发明名称	Adaptive and automatic determination of system parameters
摘要	A MIMO optimizer is used to identify tunable process parameters for processing equipment.
申请公布号	US8606387(B2)	申请公布日期	2013.12.10
申请号	US201113006571	申请日期	2011.01.14
申请人	TSAI PO-FENG;HO CHIA-TONG;WU SUNNY;WANG JO FEI;MOU JONG-I;TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD.	发明人	TSAI PO-FENG;HO CHIA-TONG;WU SUNNY;WANG JO FEI;MOU JONG-I
分类号	G06F19/00	主分类号	G06F19/00
代理机构		代理人
主权项
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