摘要 |
1. Реактор производства частиц в процессе осаждения, содержащий:корпус, определяющий реакционную камеру;сборку статоров, содержащую два или несколько статоров в реакционной камере;сборку роторов, включающую два или несколько роторов в реакционной камере, при этом сборка роторов сконфигурирована для вращения вокруг оси вращения относительно сборки статоров;первое впускное отверстие для подачи первого реагирующего вещества в реакционную камеру в первом радиальном направлении;второе впускное отверстие для подачи второго реагирующего вещества в реакционную камеру во втором радиальном направлении, отличающемся от первого радиального направления, в котором первое и второе реагирующие вещества реагируют, чтобы осуществить осаждение частиц в реакционной камере; ивыпускное отверстие для выхода частиц, сформированных в реакционной камере.2. Реактор по п.1, в котором сборка статоров включает, по меньшей мере, первый статор и второй статор, в котором сборка роторов включает, по меньшей мере, первый ротор, второй ротор и третий ротор, в котором первое впускное отверстие служит для подачи первого реагирующего вещества в реакционную камеру вверх по потоку первого ротора, и в котором второе впускное отверстие служит для подачи второго реагирующего вещества в реакционную камеру в области второго статора.3. Реактор по п.2, в котором скорость первого реагирующего вещества увеличивается первым ротором, и это вещество разбивается на мелкие капли первым статором и вторым ротором, и в котором первое реагирующее вещество реагирует со вторым реагирующим веществом за вторым впускным отверстием.4. Реактор по любому из пунктов |