| 摘要 |
Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjnosci do ukladów scalonych, charakteryzuje sie tym, ze wykonuje sie naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materialu o skladzie (FeCoZr)0,28[Pb0,81Sr0,04(Na0,5Bi0,5)0,15(Zr0,575Ti0,425)O3]0,72 w czasie od 130 do 140 minut, w atmosferze argonu i tlenu w zakresie cisnien argonu od 10-2 Pa do 10-1 Pa, i tlenu od 10-3 Pa do 10-2 Pa, na plytke podlozowa z krzemu, poddana wczesniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania ukladu scalonego. |
