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发明名称 DEFLECTION PLATE AND DEFLECTION DEVICE FOR DEFLECTING CHARGED PARTICLES
摘要 The invention relates to a deflection plate for deflecting charged particles, said plate comprising a recess.
申请公布号 WO2013178282(A1) 申请公布日期 2013.12.05
申请号 WO2012EP60348 申请日期 2012.06.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;APTAKER, PETER SIMON;BEASLEY, PAUL;HEID, OLIVER 发明人 APTAKER, PETER SIMON;BEASLEY, PAUL;HEID, OLIVER
分类号 H05H7/00;G21K1/087;H05H9/00 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
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