| 摘要 |
Es wird eine kostengünstige und äußerst platzsparende Modullösung für zumindest zwei mikromechanische Sensorelemente mit gleichen Verpackungsanforderungen vorgeschlagen. Das erfindungsgemäße Sensormodul (100) mit mindestens zwei mikromechanischen Sensorelementen (1, 2), deren Sensorfunktion auf dem direkten oder indirekten Einwirken eines Messmediums beruht, ist dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Sensorelemente (1, 2) in einem gemeinsamen Gehäuse (40) mit mindestens einer Zugangsöffnung (43) für das Messmedium angeordnet sind und dass die mindestens zwei Sensorelemente (1, 2) Bauelementrückseite auf Bauelementvorderseite übereinander gestapelt sind, so dass das obere Sensorelement (1) den aktiven Bereich des unteren Sensorelements (2) zumindest teilweise überdeckt, jedoch das für die Sensorfunktion erforderliche Einwirken des Messmediums auf den aktiven Bereich des unteren Sensorelements (2) gewährleistet ist. |
