| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Fixierung einer ersten beweglichen Komponente (4) eines mikromechanischen Bauelementes an einer feststehenden oder beweglichen zweiten Komponente (5) des Bauelementes, wobei sich eine Seitenfläche der ersten und eine Seitenfläche der zweiten Komponente gegenüberliegen. Bei dem Verfahren wird auf einer an die Seitenfläche angrenzenden Seite einer oder beider Komponenten (4, 5) eine über die Seitenfläche überstehende Schicht (10) erzeugt. Die bewegliche erste Komponente (4) wird zur Fixierung so gegen die zweite Komponente (5) bewegt, dass sich der überstehende Schichtbereich über die an die Seitenfläche angrenzende Seite der ersten oder zweiten Komponente (4, 5) schiebt oder sich, im Falle einer bei beiden Komponenten (4, 5) vorhandenen überstehenden Schicht (10), die überstehenden Schichtbereiche übereinander schieben, so dass aufgrund von Adhäsion der überstehende Schichtbereich (10) an der darunter liegenden Komponente (4, 5) oder die überstehenden Schichtbereiche aneinander haften. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren lassen sich nachträglich Spaltbreiten zwischen einem beweglichen Strukturelement und einem feststehenden oder beweglichen Strukturelement mit geringem Aufwand verringern.</p> |
