| 摘要 |
Halbleiterbauelement, das aufweist: eine Anschlusszone (11), eine schwächer als die Anschlusszone (11) dotierte Driftzone (12) eines ersten Leitungstyps, einen Bauelementübergang zwischen der Driftzone (12) und einer weiteren Bauelementzone (14), und eine zwischen der Driftzone (12) und der Anschlusszone angeordnete Ladungsträgerkompensationszone (13) des ersten Leitungstyps, deren Dotierungskonzentration geringer ist als die der Anschlusszone (11), deren Dotierungskonzentration wenigstens abschnittsweise in Richtung der Anschlusszone (11) von einer minimalen Dotierungskonzentration zu einer maximalen Dotierungskonzentration zunimmt, wobei die minimale Dotierungskonzentration mehr als 1016 cm–3 beträgt, wobei die Ladungsträgerkompensationszone einen Bereich aufweist, in dem die Dotierung von 5·1016 cm–3 auf 2·1017 cm–3 ansteigt, wobei die Änderung der Dotierungskonzentration in diesem Bereich maximal 2·1021 cm–4 beträgt.
|
