微辉光放电电离源一体式FAIMS

摘要

一种微辉光放电电离源一体式FAIMS，包括PCB板和支撑固定板，所述支撑固定板的一端连接在所述PCB板上，另一端为开放端，在所述开放端上设置有进气口和电源接口；所述固定支撑板内部从所述开放端至连接端依次设置有微辉光放电电离源、FAIMS芯片和检测器，所述检测器设置在所述PCB板上，所述进气口、所述微辉光放电电离源、所述FAIMS芯片和检测器之间形成贯穿所述支撑固定板和PCB板的通道；本发明采用特殊结构的微辉光放电电离源降低了电离源所加电压，减少了对其他器件的影响，增加了稳定性和灵敏性，并且采用MEMS技术加工而成，整体更小且外加电压低，应用更便捷、范围更广。

主权项

一种微辉光放电电离源一体式FAIMS，其特征在于：包括PCB板和支撑固定板，所述支撑固定板的一端连接在所述PCB板上，另一端为开放端，在所述开放端上设置有进气口和电源接口；所述固定支撑板内部从所述开放端至连接端依次设置有微辉光放电电离源、FAIMS芯片和检测器，所述检测器设置在所述PCB板上，所述进气口、所述微辉光放电电离源、所述FAIMS芯片和检测器之间形成贯穿所述支撑固定板和PCB板的通道。